マイクロエレクトロニクス製造におけるイオン汚染の影響

イオンは、発塵、脱落繊維、バクテリア、ウイルスよりも小さいものですが、クリーンルームで製造されるエレクトロニクス製品を台無しにする場合があります。これについて知っておくべきことを解説した資料をご紹介します。作成:Howard Siegerman, Ph.D / Berkshire Corporation

小さなイオンが引き起こす大きな問題

本資料では、以下について解説します:

  • 汚染発塵(粒子)のサイズ
  • イオン等、"ナノ" サイズの汚染物質の移動性
  • 原材料、最終製品ともに低いイオンレベルが必要
  • イオンクロマトグラフィー
  • 誘導結合プラズマ質量分析法(Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry:ICPMS)
  • イオン汚染を防止するためのワイパー製造、準備、使用

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